基于ZnO纳米线阵列的真空压强传感器

材料科学与工程学报, 2015, 33(6): 853-878. doi: 10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2015.06.016

基于ZnO纳米线阵列的真空压强传感器

王炳琴 ^1, , 张阳军 ^2, , 郑学军 ^3,

1.乐山职业技术学院机电工程系,四川乐山,614000

2.乐山职业技术学院机电工程系,四川乐山614000;湘潭大学机械工程学院,湖南湘潭411105

3.湘潭大学机械工程学院,湖南湘潭,411105

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(10825209),四川省教育厅资助项目(15ZB0399),乐山市科技局资助项目(2015126, 2015127)

关键词： ZnO , 纳米线阵列 , 真空压强传感器 , 氧吸附与解吸附

A Vacuum Pressure Sensor Based on ZnO Nanowire Arrays

Keywords： ZnO , nanowire arrays , vacuum pressure sensor , Oxygen adsorption and desorption

首先用化学气相沉积法制备了ZnO纳米线阵列,然后在此基础上制作了真空压强传感器.测试了基于ZnO纳米线阵列的真空压强传感器敏感特性,并与基于ZnO纳米带膜的传感器敏感特性做了比较,发现前者比后者敏感特性更好,相比传统的真空传感器,具有测量范围宽、灵敏度高和功耗低等优点.这主要是由于ZnO纳米线阵列具有较大的比表面积及氧吸附与解吸附等原因引起.

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A Vacuum Pressure Sensor Based on ZnO Nanowire Arrays

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